Роботизированный манипулятор для пластин (Wafer Handler)
Устройство автоматической загрузки и выгрузки кремниевых пластин в процессе производства микросхем. Используется в чистых помещениях для перемещения пластин между различными этапами обработки без загрязнений.
Заказать